透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)是一种使用电子束而非光束的显微镜。其工作原理类似于光学显微镜,但相对于光学显微镜,透射电子显微镜使用的是高能电子束来照射样品,以获得对样品的更高分辨率的图像。
透射电子显微镜由三个主要部分组成:电子源,样品和像差校正器。首先,电子源产生高能电子束。电子源有不同的类型,其中最常见的是热阴极电子枪。电子枪中的加热阴极通过加热而释放高能电子。然后,这些电子通过透镜系统被聚焦为一束直径约为1纳米的电子束,该电子束被称为原始电子束。
接下来,原始电子束经过一系列的磁透镜,这些透镜作用类似于光学显微镜中的透镜,使得电子束聚焦于样品的表面。电子束经过样品时,发生散射、透射和吸收。这些散射和透射的电子被收集并转化为图像。
在透射电子显微镜中,使用两个主要的探测器来收集被散射和透射的电子。第一个是散射电子探测器,它收集从样品表面反射回来的电子,用于表征样品的表面形貌。第二个是透射电子探测器,它收集透过样品的电子。通过电子透射的方式,可以得到样品的内部结构和组成信息。
最后,透射电子显微镜中的像差校正器用于改善电子束的聚焦效果。由于电子束的散射是不可避免的,它会导致像差,即影响图像的分辨率。像差校正器通过引入一些附加的电磁透镜来解决这个问题,从而改善图像质量和分辨率。
总之,透射电子显微镜通过使用高能电子束来照射样品,然后收集被散射和透射的电子,得到对样品的高分辨率图像。这种工作原理使得透射电子显微镜可以观察到非常小的结构和物体,例如原子和分子级别的细节,并广泛应用于材料科学、生物科学等领域研究。
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